一般洁净等级较高之洁净室，其厂房均设有次洁净区，使得洁净室中含微粒之气流经由高架地板及洁净室楼板进入到次洁净区，再由抽风设备将次洁净区之气流抽至洁净室天花板之滤网，重新过滤出洁净且稳定之气流，而产生一个循环系统，这使得洁净室楼板须留有足够之回风孔，使洁净室之气流经由此回风孔送到次洁净区。再加上须具有足够强度以承受制程机台之重量，以及抑制微振动影响制程之质量，因此衍生出洁净室楼板之特殊设计。目前高科技厂房洁净室楼板使用的通风楼板统称为华夫板。
华夫板介绍
来源： 时间：2021-12-01 16:37:49 浏览次数：
一般洁净等级较高之洁净室，其厂房均设有次洁净区，使得洁净室中含微粒之气流经由高架地板及洁净室楼板进入到次洁净区，再由抽风设备将次洁净区之气流抽至洁净室天花板之滤网，重新过滤出洁净且稳定之气流，而产生一个循环系统，这使得洁净室楼板须留有足够之回风孔，使洁净室之气流经由此回风孔送到次洁净区。
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